|
|
19:44 Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие - Галперин, Данилкин, Мочалов |
Автор: Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Художник: Апрелова Н.
Редактор: Тимошенков Сергей Петрович
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2018 г.
Серия: Нанотехнологии
Аннотация к книге "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Читать Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие - Галперин, Данилкин, Мочалов.
|
Похожие материалы:
|
|
| Календарь |
| « Январь 2018 » | | Пн | Вт | Ср | Чт | Пт | Сб | Вс | | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | | 29 | 30 | 31 |
|
|
